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韓国ソウル, 2025年2月20日 /PRNewswire/ -- 原子間力顕微鏡（AFM）のグローバルリーダーであるPark Systemsは、SEMICON Korea:2025にて拡張されたFX大型サンプルAFMシリーズを発表しました。SEMICON West 2024で発表され、その後ドイツ、日本、韓国で高い市場評価を得ているPark FX200の成功を基に、パーク・システムズは300mmウェーハ解析向けのPark FX300を発表しました。さらに、大型サンプルAFM技術の限界を押し広げるPark FX200 IRおよびPark FX300 IRも同時に導入し、これらは赤外（IR）分光分析を統合しています。
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300mmウェーハが半導体業界の標準となる中、Park FX300は、完全自動インラインシステムの複雑さを伴わずに、高精度な解析を求めるユーザー向けに設計されています。また、インライン製造への移行を検討している企業にとって、AFM導入の最適なソリューションとなります。
Park FX300は、産業用途と研究用途の両方に最適化されており、幅広いAFM技術に対応した高度な解析・品質管理機能を提供することで、業界のゲームチェンジャーとなることが期待されています。また、Park FX300には、半導体後工程における銅パッドの長距離平坦度測定を可能にするスライディングステージ、ウェーハレベルパッケージングでの精密なサンプル位置合わせを実現する回転ステージ、およびサンプルの視認性を向上させるオフアクシスオプティクスなどの専門機能が搭載されています。さらに、ファンフィルターユニット（FFU）を搭載し、制御された無塵環境を維持することで、クリーンルームでの使用に最適な設計となっています。
Park Systemsは、FX200 IRおよびFX300 IRも発表し、AFM技術をナノスケールの化学分析分野へと拡張しました。フーリエ変換赤外線分光法（FTIR）をAFMと統合することにより、これらのモデルは光誘導力顕微鏡（PIFM）を利用して、5 nm未満の空間分解能で化学的識別を可能にします。この革新により、研究者やエンジニアはウェーハ表面を損傷させることなくナノスケール構造の化学組成を分析できるようになり、半導体、ポリマー、ライフサイエンス分野における材料特性評価の新たな可能性を切り開きます。
FX200 IRおよびFX300 IRは、小型サンプルから200mm・300mmウェーハまで対応可能な設計となっており、高解像度の赤外分光イメージングを実現します。これにより、材料の組成や分子間相互作用に関するこれまでにない洞察を提供します。超微細スケールでの化学結合情報の取得が可能なため、半導体の欠陥解析、ポリマー研究、先端材料の特性評価において、比類のない精度での分析を実現します。
Park Systemsの効率を最大化しながら、手動介入を最小限に抑えるという哲学に根ざしたFX大規模なサンプルAFMシリーズは、自動プローブ認識と交換、プローブステータス監視用のQRコードシステム、およびシームレス操作のためのAI駆動レーザーアライメントで使いやすさを向上させます。StepScan™機能により、あらかじめ設定した座標での自動連続測定が可能となり、研究者は形状、電気特性、機械特性、磁気特性を最小限の手動操作で解析できるため、効率がさらに向上します。特にIRアプリケーションでは、レーザーアライメントが大きな課題となることが多いですが、本システムはそのプロセスを完全に自動化し、高解像度の化学分析をこれまでになく容易にします。
Park Systemsのエグゼクティブバイスプレジデントであるサンジュン・チョ博士は、技術的リーダーシップに対する同社のコミットメントを強調しました：「Park Systemsが数十年にわたり培ってきた精密測定と自動化の専門知識と革新を結集し、FX大型サンプルAFMシリーズを産業および研究分野の最高レベルのウェーハ解析に最適化しました。Park FX300とナノIRシステムは、産業と研究におけるAFMの境界を再定義し、お客様に最先端のAFM技術を提供することで、共にナノサイエンスの未来を築いていきます。」
最新の革新により、Park Systemsは原子力顕微鏡のグローバルリーダーとしての地位を固め続け、半導体およびナノサイエンス研究の絶えず進化する需要に対する業界をリードするソリューションを提供しています。
Park Systems Corp.について(KOSDAQ: 140860）
最高品質の原子力顕微鏡（AFM）の製造により、ナノメトロロジーソリューションの先駆者およびリーダーであるPark Systems Corp.材料科学、物理学、化学、生命科学、半導体、データストレージなど、材料科学、化学、生命科学、データストレージなどの多様な分野の分野。同社の使命は、科学者やエンジニアのためにナノスケールの革新を推進し、科学的発見を前進させることです。Park Systemsの顧客には、世界の大手半導体企業や主要研究大学が含まれています。スウォン、韓国、およびアメリカ、ヨーロッパ、アジアの地域事務所に本社があるため、公園システムは韓国証券取引所（KOSDAQ）で公開されています。詳しくは、www.parksystems.comをご覧ください。
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